白刚玉对石英制品喷砂处理可以使表面毛化、去除杂质 / 热损伤层、控制粗糙度,以满足半导体制程的洁净度与附着力要求粒度主要化学成分(%...
| 粒度 | 主要化学成分(%) | ||
| Al2O3 | Fe2O3 | Na2O | |
| 粒度砂 | 99.5% | 0.10 | 0.3% |
| 颜色 | 白色 |
| 白度 | ≥85 |
| 磁性杂质 | ≤20ppm |
| 吸油值 | ≤8% |
| 硬度 | 莫氏9.0 |
| 使用温度 | 1900 ℃ |
| 熔点 | 2250 ℃ |
| 比重/真密度 | 3.95g/cm3 |
| 体积密度 | 3.6g/cm3 |
| 堆积密度 | 1.75-1.95g/cm3 |
| 晶型 | 三方晶体 |
| 晶形 | 多棱角 |
| 欧标 | F8F10F12F14F16F20F24F30F36F40F46F54F60F70F80F90F100F120F150F180F220 |
| 日标 | JIS#8#10#12#14#16#20#24#30#36#46#60#70#80#90#100#120#150#180#220 |
| F4-F220/JIS#-#240粗磨粒粒度组成 (GB/T2481-1998) | |||||||||||||||||
| 粒度标记 | 最粗粒 | 粗粒 | 基本粒 | 混合粒 | 细粒 | ||||||||||||
| 筛网号 | 网孔尺寸 | 筛上物 | 筛网号 | 网孔尺寸 | 筛上物≤ | 筛网号 | 网孔尺寸 | 筛上物≥ | 筛网号 | 网孔尺寸 | 筛上物≥ | 筛网号 | 网孔尺寸 | 筛下物≥ | |||
| # | um | 质量比% | # | um | 质量比% | # | um | 质量比% | # | um | 质量比% | # | um | 质量比% | |||
| F4 JIS#4 |
5*16 | 8000 | 0 | 3.5 | 5600 | 20 | 4 | 4750 | 40 | 4 5 | 4750 4000 | 70 | 6 | 3350 | 3 | ||
| F5 JIS#5 |
0.265 | 6700 | 0 | 4 | 4750 | 20 | 5 | 4000 | 40 | 5 6 | 4000 3350 | 70 | 7 | 2800 | 3 | ||
| F6 JIS#6 |
3.5 | 5600 | 0 | 5 | 4000 | 20 | 6 | 3350 | 40 | 6 7 | 3350 2800 | 70 | 8 | 2360 | 3 | ||
| F7 JIS#7 |
4 | 4750 | 0 | 6 | 3350 | 20 | 7 | 2800 | 40 | 7 8 | 2800 2360 | 70 | 10 | 2000 | 3 | ||
| F8 JIS#8 |
5 | 4000 | 0 | 7 | 2800 | 20 | 8 | 2360 | 45 | 8 10 | 2360 2000 | 70 | 12 | 1700 | 3 | ||
| F10 JIS#10 |
6 | 3350 | 0 | 8 | 2360 | 20 | 10 | 2000 | 45 | 10 12 | 2000 1700 | 70 | 14 | 1400 | 3 | ||
| F12 JIS#12 |
7 | 2800 | 0 | 10 | 2000 | 20 | 12 | 1700 | 45 | 12 14 | 1700 1400 | 70 | 16 | 1180 | 3 | ||
| F14 JIS#14 |
8 | 2360 | 0 | 12 | 1700 | 20 | 14 | 1400 | 45 | 14 16 | 1400 1180 | 70 | 18 | 1000 | 3 | ||
| F16 JIS#16 |
10 | 2000 | 0 | 14 | 1400 | 20 | 16 | 1180 | 45 | 16 18 | 1180 1000 | 70 | 20 | 850 | 3 | ||
| F20 JIS#20 |
12 | 1700 | 0 | 16 | 1180 | 20 | 18 | 1000 | 45 | 18 20 | 1000 850 | 70 | 25 | 710 | 3 | ||
| F22 JIS#22 |
14 | 1400 | 0 | 18 | 1000 | 20 | 20 | 850 | 45 | 20 25 | 850 710 | 70 | 30 | 600 | 3 | ||
| F24 JIS#24 |
16 | 1180 | 0 | 20 | 850 | 25 | 25 | 710 | 45 | 25 30 | 710 600 | 65 | 35 | 500 | 3 | ||
| F30 JIS#30 |
18 | 1000 | 0 | 25 | 710 | 25 | 30 | 600 | 45 | 30 35 | 600 500 | 65 | 40 | 425 | 3 | ||
| F36 JIS#36 |
20 | 850 | 0 | 30 | 600 | 25 | 35 | 500 | 45 | 35 40 | 500 425 | 65 | 45 | 355 | 3 | ||
| F40 JIS#40 |
25 | 710 | 0 | 35 | 500 | 30 | 40 | 425 | 40 | 40 45 | 425 355 | 65 | 50 | 300 | 3 | ||
| F46 JIS#46 |
30 | 600 | 0 | 40 | 425 | 30 | 45 | 355 | 40 | 45 50 | 355 300 | 65 | 60 | 250 | 3 | ||
| F54 JIS#54 |
35 | 500 | 0 | 45 | 355 | 30 | 50 | 300 | 40 | 50 60 | 300 250 | 65 | 70 | 212 | 3 | ||
| F60 JIS#60 |
40 | 425 | 0 | 50 | 300 | 30 | 60 | 250 | 40 | 60 70 | 250 212 | 65 | 80 | 180 | 3 | ||
| F70 JIS#70 |
45 | 355 | 0 | 60 | 250 | 25 | 70 | 212 | 40 | 70 80 | 212 180 | 65 | 100 | 150 | 3 | ||
| F80 JIS#80 |
50 | 300 | 0 | 70 | 212 | 25 | 80 | 180 | 40 | 80 100 | 180 150 | 65 | 120 | 125 | 3 | ||
| F90 JIS#90 |
60 | 250 | 0 | 80 | 180 | 20 | 100 | 150 | 40 | 100 120 | 150 125 | 65 | 140 | 106 | 3 | ||
| F100 JIS#100 |
70 | 212 | 0 | 100 | 150 | 20 | 120 | 125 | 40 | 120 140 | 125 106 | 65 | 200 | 75 | 3 | ||
| F120 JIS#120 |
80 | 180 | 0 | 120 | 125 | 20 | 140 | 106 | 40 | 140 170 | 106 90 | 65 | 230 | 63 | 3 | ||
| F150 JIS#150 |
100 | 150 | 0 | 140 | 106 | 15 | 200 | 75 | 40 | 200 230 | 75 63 | 65 | 325 | 45 | 3 | ||
| F180 JIS#180 |
120 | 125 | 0 | 170 | 90 | 15 | 200 230 | 75 63 | 40 | 200 230 270 | 75 63 53 | 65 | |||||
| F220 JIS#220 |
140 | 106 | 0 | 200 | 75 | 15 | 230 270 | 63 53 | 40 | 230 270 325 | 63 53 45 | 60 | |||||