氧化铝陶瓷基片研磨用什么磨料？

2026-08-21 14:34:34   点击： 次
氧化铝陶瓷基片研磨一般用酸洗水分的白刚玉/电熔氧化铝/金刚砂微粉

材质匹配：白刚玉的α‑氧化铝基材与氧化铝陶瓷基片一致，热膨胀系数相近，研磨过程减少崩边、亚表面微裂纹，提升基板良率；

白刚玉/电熔氧化铝/金刚砂微粉的核心优势

    1. 低杂质管控：酸洗工艺降低铁杂质，低钠配方，避免基板黑点污染，保障后续金属化、镀膜工艺稳定性；
    2. 水力分级：严格筛选超大颗粒，降低基板表面划伤风险，研磨后表面纹理均匀；
    3. 自锐性佳：莫氏硬度 9，切削稳定、磨削发热量小，适配双面研磨机湿式研磨砂浆调配；
    4. 白刚玉规格齐全：覆盖 F320 / F400 / F600 / F800 / F1000 / F1200 / F1500 及 W63 W50 W40 W28 W20 W14 W10 ，日标360# 400# 500# 600# 700# 800# 1000# 1200# 1500# 2000# 3000# 4000# 6000#系列超细微粉，可按需定制粒度。



    氧化铝陶瓷基片研磨的白刚玉粒度选用

    1. 粗磨（去除切割刀纹、大加工余量）：F320、F400、F600
    2. 中磨（整平、改善平行度）：F800、F1000
    3. 预精磨（CMP 镜面抛光前道）：F1200、F1500、W 系列超细白刚玉

    补充要点

    1. 选型要求：严控Na₂O、Fe₂O₃杂质，采用水力分级，无超大颗粒，防止基板划伤、金属化不良
    2. 镜面终抛不再使用白刚玉：采用金刚石抛光液或硅溶胶
    3.